潔凈室的四大技術(shù)要素：
一、送風(fēng)至少經(jīng)過三級過濾（粗效、中效和高效），并且高效過濾器應(yīng)設(shè)置在系統(tǒng)的末端。
二、潔凈室應(yīng)有足夠的凈化和空調(diào)的送風(fēng)量。
三、潔凈室應(yīng)維持必要的壓力梯度（正壓梯度或負(fù)壓梯度）。
四、潔凈室應(yīng)有合理的氣流組織。
潔凈室的分類：
按氣流流型潔凈室可劃分為：單向流潔凈室；非單向流潔凈室；混合流潔凈室；矢流潔凈室。
單向流潔凈室：
單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。
單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。
垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創(chuàng)造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運(yùn)行費(fèi)很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。
水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）從一面墻流向?qū)γ娴膲Φ臍饬髁餍汀Ｔ摎饬骺蓜?chuàng)造100級的凈化級別。其初投資和運(yùn)行費(fèi)低于垂直單向流流型。
非單向流潔凈室：
非單向流潔凈室的氣流流型又可分為頂送下回；頂送下側(cè)回；頂送頂回等。
非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)；回風(fēng)的型式有下部回風(fēng)、側(cè)下部回風(fēng)和頂部回風(fēng)等。依不同送風(fēng)換氣次數(shù)，實(shí)現(xiàn)不同的凈化級別，其初投資和運(yùn)行費(fèi)用也不同。
混合流潔凈室：
混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。這種氣流的特點(diǎn)是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運(yùn)行費(fèi)。
矢流（對角流）潔凈室：
選上側(cè)圓弧型高效過濾器風(fēng)口送風(fēng)，對側(cè)下回風(fēng)口回風(fēng)的氣流流型。
矢流潔凈室的氣流是以放射型的流線流出，流線之間沒有豎向交叉，可用相對少量的送風(fēng)獲得較高級別的潔凈度。多用在醫(yī)藥、醫(yī)療和電子等行業(yè)的小潔凈室中。在某些特殊的實(shí)驗(yàn)室中也得到廣泛的應(yīng)用。
各種氣流流型潔凈室的風(fēng)量、冷量、初投資和運(yùn)行費(fèi)的比較（僅供參考）
不同潔凈級別潔凈廠房的送風(fēng)量、冷量投資耗電的指標(biāo)
注：表中的送風(fēng)量、單向流以斷面風(fēng)速表示，非單向流以換氣次數(shù)表示。
表中冷量指標(biāo)一般指電子工業(yè)潔凈廠房。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護(hù)、冷凍供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動控制的投資。表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。
按潔凈室主要控制對象劃分潔凈室又可劃分為：工業(yè)潔凈室；生物潔凈室。
工業(yè)潔凈室：
工業(yè)潔凈室主要的控制對象是灰塵粒子（不分有生命的、無生命的）。
工業(yè)潔凈室主要應(yīng)用在電子、航天、航空、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開潔凈室和潔凈技術(shù)。
生物潔凈室：
生物潔凈室主要控制對象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等對人類、動物、環(huán)境有害的粒子。
生物潔凈室廣泛地應(yīng)用在醫(yī)療（潔凈手術(shù)室、潔凈病房）、生物制藥、實(shí)驗(yàn)動物飼養(yǎng)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、衛(wèi)生防疫檢疫的事業(yè)中。生物潔凈室的發(fā)展速度非常快，而且得到了各方的認(rèn)同和重視。
工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表
潔凈室潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)：
ISO-14644是國際標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標(biāo)準(zhǔn)，美國原來應(yīng)用的是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209B，現(xiàn)在它們分別被國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)中的5級、6級、7級和8級所替代。
ISO-14644的潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)列如下：
潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級
注：① 每點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。
② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。
③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。
④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）：
（個/m3）
式中，N為潔凈度等級在1~9級中間可以0.1為最小單位遞增量插入。
國標(biāo)潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644與各國潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)的比較如下：
國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644與各國標(biāo)準(zhǔn)的比較表
注：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E已經(jīng)停止使用。
潔凈室的消防、節(jié)能和環(huán)保：
潔凈室的消防：
一、潔凈室建筑不利于防火的因素：
1、空間密閉、圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性好，一旦火災(zāi)溫度會迅速上升，大量煙氣不易排出，令人窒息又不利于疏散和撲救。
2、潔凈室建筑內(nèi)各種關(guān)卡多，對外出口少，疏散通道不暢，延長了疏散距離和時間。
3、潔凈室建筑裝修有一些高分子的合成材料會產(chǎn)生濃煙和毒氣。工藝生產(chǎn)中往往會使用大量的易燃易爆的化學(xué)物質(zhì)也是潔凈室潛在的火災(zāi)威脅。
因此潔凈室的防火和人員疏散非常重要。
二、潔凈室建筑耐火等級
1、甲乙類潔凈室建筑的耐火等級應(yīng)為一級或二級，宜為單層建筑，其最大占地面積不易超過3000m2。
2、丙、丁、戊類潔凈室建筑的耐火等級可為一級或二級，可為單層或多層，除丙類建筑占地面積不應(yīng)超過8000m2（單層、二級）；6000m2（多層、二級）；4000m2（多層、三級）外，丁類和戊類占地面積不限。
三、潔凈室人員的安全疏散
在進(jìn)行潔凈室平面規(guī)劃時考慮人員疏散的原則
1、疏散路線要簡捷明了，便于尋找和識別。
2、疏散路線要做到步步安全（著火房間→房間門→疏散走道→樓梯間→室外）。
3、撲救線路不要與疏散路線交叉。
4、疏散通道要通暢，少曲線，少高低不平，少寬窄變化。
5、疏散方向至少有2個可供人員疏散。
6、疏散門的開啟方向應(yīng)有利于人員的疏散逃生。
四、潔凈室建筑材料的防火
1、潔凈室內(nèi)部的裝修材料應(yīng)盡量避免采用在燃燒時產(chǎn)生大量濃煙和有毒氣體的高分子合成材料。根據(jù)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”規(guī)定：潔凈室的頂棚和壁板（包括夾心材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。
2、特別要重視參觀走廊的隔墻（包括大面積玻璃窗）的耐火極限問題。
3、技術(shù)豎井的井壁的耐火極限也不應(yīng)低于1.0 h。
潔凈室的水消防：
一、室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)
室內(nèi)、外消火栓供水系統(tǒng)的用水量應(yīng)根據(jù)潔凈室生產(chǎn)工作間火災(zāi)危險(xiǎn)性類別，建筑物的耐火等級以及建筑物的體積等因素目前應(yīng)根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”確定，當(dāng)“消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范”頒布后應(yīng)按新規(guī)范執(zhí)行。
二、自動噴水滅火系統(tǒng)
自動噴水滅火系統(tǒng)的用水量應(yīng)根據(jù)潔凈室的火災(zāi)危險(xiǎn)性等級和“自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范”確定。自動噴水滅火系統(tǒng)宜采用預(yù)作用式自動噴水滅火系統(tǒng)。
三、潔凈室各個場所必須配置滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足“建筑滅火器配置規(guī)范”的要求。除消防給水外，還應(yīng)設(shè)置必要?dú)怏w滅火系統(tǒng)等。
潔凈室電氣消防：
一、潔凈室的電源和供配電
根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求。
1、消防電源的負(fù)荷分級應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)“供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求。
2、消防用電的設(shè)備應(yīng)采用專用的供電回路，當(dāng)生產(chǎn)、生活用電切斷時，應(yīng)仍能保證消防用電，其配電設(shè)備應(yīng)有明顯的標(biāo)志。
3、消防用電設(shè)備的管線應(yīng)滿足火災(zāi)時連續(xù)供電，并且管線應(yīng)有防火要求。
4、消防應(yīng)急照明燈具和疏散指示標(biāo)志燈的備用電源的連續(xù)供電時間應(yīng)滿足實(shí)際消防要求。
二、潔凈室的消防照明
1、潔凈室內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散通道的轉(zhuǎn)角處應(yīng)按“規(guī)范”設(shè)置疏散標(biāo)志（疏散指示燈）。
2、在專用的消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
3、消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機(jī)房、配電室、防排煙機(jī)房以及發(fā)生火災(zāi)時仍需正常堅(jiān)持工作的其他房間應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明。
三、潔凈室的消防報(bào)警和控制
1、潔凈室的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器（感溫探測器、感煙探測器或空氣采樣器等），及早預(yù)知、早報(bào)警。
2、潔凈室生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報(bào)警按鈕。
3、潔凈室應(yīng)設(shè)置消防值班室（或控制室），消防控制室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。
4、消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠，應(yīng)有合格的顯示功能。
5、消防報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行如下：
消防聯(lián)動控制：
① 啟動消防水泵（除自控外還應(yīng)設(shè)手動控制裝置）。
② 關(guān)閉電動防火閥，停止空調(diào)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)、新風(fēng)機(jī)，并收其反饋信號。
③ 關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門或防火卷簾門。
④ 點(diǎn)亮應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈。
⑤ 手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。
⑥ 啟動火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音器，進(jìn)行人工和自動廣播。
⑦ 控制電梯降至首層，并接收反饋信號。
潔凈室的防排煙：
一、根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求：潔凈室的疏散走廊和面積大于300m2的潔凈室均應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙措施。
二、最新報(bào)批的“電子工廠潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”中對潔凈室的防排煙系統(tǒng)的要求作了一些修訂，內(nèi)容是：潔凈廠房的疏散走廊應(yīng)設(shè)置防排煙系統(tǒng)，但對于大面積的電子工廠的潔凈廠房當(dāng)每50m2內(nèi)不超過一個工作人員時可不設(shè)置防排煙系統(tǒng)。
潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能：
潔凈室的空調(diào)負(fù)荷
潔凈室的凈化空調(diào)負(fù)荷由下面幾部分組成：
一、室內(nèi)負(fù)荷
主要包括：
1、室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷。
2、室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷。
3、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門、窗）的傳熱、傳濕負(fù)荷。
4、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負(fù)荷。
二、潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。
三、空氣循環(huán)時風(fēng)機(jī)（或FFU）的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。
潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)：
一、高級別潔凈室（100級，10級，1級）是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機(jī)的風(fēng)量非常大，高達(dá)400~500次/h換氣，而且風(fēng)機(jī)的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大。按理論計(jì)算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機(jī)的溫升為1.5℃，僅此一項(xiàng)的負(fù)荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷也要250~350 W/m2。因此，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大是其一個負(fù)荷特點(diǎn)。
二、服務(wù)于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10~20次/h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷大約為400~800 W/m2；個別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負(fù)荷也還會更大。因此新風(fēng)負(fù)荷大是其第二個負(fù)荷特點(diǎn)。
三、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級別潔凈室的第三個負(fù)荷特點(diǎn)。生產(chǎn)負(fù)荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。
四、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項(xiàng)負(fù)荷相對比較小，三項(xiàng)負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10%（其中：照明負(fù)荷大約25~30 W/m2；圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷大約20~30W/m2；作業(yè)人員負(fù)荷大約10~15 W/m2），這是高級別潔凈室第四個負(fù)荷特點(diǎn)。
潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施
潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應(yīng)首先從分析其空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)入手，抓住空調(diào)負(fù)荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，高級別潔凈室空調(diào)負(fù)荷中占90%以上的負(fù)荷是：新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過程負(fù)荷三項(xiàng)。這是它的主要矛盾。
一、降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施
1、減少排風(fēng)量。改進(jìn)工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)，少排風(fēng)。采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量。
2、減少正壓漏風(fēng)量。加強(qiáng)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風(fēng)量。
3、提高新風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。
二、降低風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷的節(jié)能措施
1、在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。
2、加強(qiáng)空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。
3、采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送風(fēng)方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。
4、采用FFU加新風(fēng)機(jī)組加干盤管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。
5、提高風(fēng)機(jī)效率，采取變頻措施。
三、工藝設(shè)備和工藝過程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。
四、除上述措施之外，還可采取如下措施
1、合理選擇和確定潔凈室內(nèi)的工藝參數(shù)（溫度、濕度、潔凈度）。
潔凈室的凈化空調(diào)是重點(diǎn)能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈室的潔凈度和溫、濕度時要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過高過嚴(yán)要求。否則，其能耗會大幅度上升。有專家分析計(jì)算潔凈室內(nèi)溫度放寬1℃時其能耗可節(jié)省3%左右；其相對濕度放寬5%時其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負(fù)荷計(jì)算時安全裕量不應(yīng)留有過大，否則設(shè)備的耗電會大大增加，為了今后的發(fā)展最好留有動力設(shè)備的空位。
2、優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程
凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程的優(yōu)化對節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風(fēng)機(jī)溫升。
在“潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計(jì)與安裝”的國家標(biāo)準(zhǔn)圖的例題中的計(jì)算結(jié)果是這樣的：對于一級潔凈手術(shù)室（北京）夏季耗冷量，當(dāng)采用一次回風(fēng)系統(tǒng)時是60 kW，而采用二次回風(fēng)系統(tǒng)時只有25kW，當(dāng)采用新風(fēng)機(jī)組深冷抽濕處理時其耗冷量只有20kW。
3、合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備
① 設(shè)計(jì)建造潔凈室時要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備（冷機(jī)、風(fēng)機(jī)、水泵）。
② 選擇低阻高效的過濾設(shè)備，風(fēng)機(jī)和水泵的壓頭選擇不宜過高。
③ 電動設(shè)備最好采取變頻措施。
4、低位熱能的利用和廢熱的回收
低位熱能和廢熱回收的潛力非常大。現(xiàn)在很多專家在這方面進(jìn)行了大量研究，如：工藝?yán)鋮s水的回收和利用；噴水氣化潛熱的利用；冷凍機(jī)、空壓機(jī)廢熱的回收以及利用冷凍水和中溫水回水混合制造中溫水等等。
5、加強(qiáng)水管和風(fēng)管的保溫。
6、減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。
7、采取熱回收，充分利用廢熱。
8、盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱，如：太陽能、地下水、土壤能等。
9、利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。
潔凈室的環(huán)保工程：
潔凈室的廢水處理
一、工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進(jìn)行處理，處理后的廢水達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)方能排放。
半導(dǎo)體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學(xué)中和沉淀法處理。其典型流程如下：
二、生物潔凈室特別是生物安全實(shí)驗(yàn)室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質(zhì)，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應(yīng)按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達(dá)標(biāo)才能排放。
潔凈室的廢氣處理：
一、工業(yè)潔凈室，特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機(jī)廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后方能排到室外。
1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生間排出的一般廢氣可直接排到室外。
2、排放的有機(jī)廢氣超標(biāo)時必須經(jīng)過有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理達(dá)標(biāo)后再排放有機(jī)廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。
3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過淋液濕式洗氣吸收塔進(jìn)行中和處理達(dá)標(biāo)排放。
4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。
5、含塵廢氣必須經(jīng)過適當(dāng)?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。
6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并通過專用的廢氣處理設(shè)備處理后達(dá)標(biāo)排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。
二、生物潔凈室尤其是生物安全實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過中效過濾方能排到室外；P3實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過高效過濾器過濾后方能排到室外；P4實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過兩級高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全最好采用袋進(jìn)袋出的高效過濾器裝置。
潔凈室設(shè)計(jì)
潔凈室凈化空調(diào)設(shè)計(jì)程序步驟
設(shè)計(jì)前的準(zhǔn)備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料
一、收集國家和地方有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
1、潔凈度等級的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644
2、“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50073-2013
3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）
4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）
5、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2013
6、“實(shí)驗(yàn)動物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2010
7、“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2011
8、“潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范”GB50591-2010
9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范”（制訂中）
10、“民用建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50736-2012
11、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范”GB50243-2016
12、“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”GB50016-2014
二、該項(xiàng)目的“可行性研究報(bào)告”以及上級主管部門對報(bào)告的批復(fù)意見；該項(xiàng)目的“設(shè)計(jì)任務(wù)書”和建設(shè)方對該項(xiàng)目建造的有關(guān)要求、意見和建議。
三、該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。
四、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：
1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單，以及工藝對吊頂高度的要求。
2、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求，越具體越好。
3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時使用系數(shù)等。
4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。
5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。
五、潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)：
1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。
2、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。
3、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。
六、全廠冷源、熱源、電源的情況及供應(yīng)：
1、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。有無加濕用的蒸汽等。
2、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。
七、地方消防、環(huán)保部門對該項(xiàng)目建設(shè)的要求和意見。
八、其他相關(guān)專業(yè)（給水排水、氣體動力、建筑結(jié)構(gòu)、強(qiáng)電弱電等）的要求和意見。
九、設(shè)計(jì)時所用的設(shè)備、材料、配件的性能、參數(shù)和價格的資料。
工藝平面和建筑平面的規(guī)劃：
工藝平面一般由甲方工藝技術(shù)人員根據(jù)工藝流程和工藝設(shè)備以及工藝生產(chǎn)的需要進(jìn)行合理規(guī)劃。
工藝平面規(guī)劃后在滿足工藝平面規(guī)劃的前提下，布置換鞋、更衣、吹淋、廁所等人流輔助生活用房、物流吹淋輔助用房和走廊參觀以及消防疏散等通道，最大限度地保證生產(chǎn)工藝的流程短捷和火災(zāi)時人員的安全疏散。
凈化空調(diào)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則：
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。
一、凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個系統(tǒng)。
7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則：
1、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過大，每個排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點(diǎn)數(shù)不宜過多，這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便，排風(fēng)效果好。
2、一個排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災(zāi)、凝水、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個排風(fēng)系統(tǒng)。
4、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個排風(fēng)系統(tǒng)。
空調(diào)負(fù)荷計(jì)算（熱濕、風(fēng)量、水力三大平衡計(jì)算）
一、潔凈室的熱負(fù)荷計(jì)算（熱平衡計(jì)算）
1、潔凈室的熱負(fù)荷包括下列各項(xiàng)：
① 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱負(fù)荷計(jì)算：（KW）
式中：Ki— 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱系數(shù)（W/m2℃）
Fi—潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的面積（m2）
—潔凈室內(nèi)外溫差（℃）
② 室內(nèi)人員的熱負(fù)荷計(jì)算
人員的顯熱負(fù)荷 Q人顯 = n·q人顯（kW）
人員的潛熱負(fù)荷 Q人潛 = n·q人潛（kW）
人員的全熱負(fù)荷 Q人全 = Q人顯+ Q人潛（kW）
式中：n—室內(nèi)的人數(shù)（人）
q顯—每個人的顯熱負(fù)荷（kW/人）
q潛—每個人的潛熱負(fù)荷（kW/人）
③ 室內(nèi)的照明負(fù)荷計(jì)算：
（KW）
式中：N—照明設(shè)備的功率（kW）
n0—整流器消耗的功率系數(shù)（n0=1.0~1.2）
n1— 安裝系數(shù)（明裝n1=1.0，暗裝n1=0.6~0.8）
n3—照明設(shè)備的同時使用系數(shù)。
④ 室內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)熱負(fù)荷計(jì)算
電熱設(shè)備熱負(fù)荷 Q設(shè)熱 = n1n3n4N（kW）
電動設(shè)備熱負(fù)荷 Q設(shè)動 = n1n2n3N（kW）
電子設(shè)備熱負(fù)荷 Q設(shè)電 = n1n2n3N（kW）
式中：N —設(shè)備的功率
n1—安裝系數(shù)（n1= 0.7~0.9）
n2—負(fù)荷系數(shù)（n2= 0.3~0.7）
n3—同時使用系數(shù)。
n4— 通風(fēng)保溫系數(shù)。
⑤潔凈室總的熱負(fù)荷計(jì)算
總顯熱負(fù)荷：
總?cè)珶嶝?fù)荷：
二、潔凈室的濕負(fù)荷計(jì)算（濕平衡計(jì)算）
潔凈室的濕負(fù)荷包括下列各項(xiàng)：
1、室內(nèi)人員產(chǎn)濕計(jì)算：
（kg/h）
式中：w人 —每個人的濕負(fù)荷（kg/h·人）
2、室內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)濕計(jì)算：
（kg/h）
式中：F— 產(chǎn)濕設(shè)備的水蒸發(fā)面積（m2）
—產(chǎn)濕設(shè)備單位面積的水蒸發(fā)量（kg/m2·h）
3、潔凈室總的濕負(fù)荷計(jì)算：
三、潔凈室的風(fēng)量計(jì)算（風(fēng)平衡計(jì)算）
1、潔凈室的送風(fēng)量的計(jì)算
潔凈室的送風(fēng)量不僅僅能消除潔凈室的總的余熱，余濕以保證潔凈室的溫度和相對濕度；而且，潔凈室的送風(fēng)量還應(yīng)能消除室內(nèi)產(chǎn)生的灰塵等粒子的污染，以保證潔凈室的潔凈度等級。因此，潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)為消除余熱的送風(fēng)量，消除余濕的送風(fēng)量和消除粒子污染的凈化送風(fēng)量三者之間最大的送風(fēng)量為該潔凈室的送風(fēng)量。
① 消除潔凈室內(nèi)余熱的送風(fēng)量計(jì)算：
（m3/h）
式中：Q顯，Q全—分別為潔凈室的顯熱和全熱負(fù)荷（kW）。
c—空氣的比熱（1.01 kJ/kg·℃）
—空氣的密度（1.2 kg/m3）
—潔凈室的送風(fēng)溫差（℃）
—潔凈室的送風(fēng)焓差（kJ/kg）
② 消除潔凈室內(nèi)余濕的送風(fēng)量計(jì)算：
（m3/h）
式中：W—潔凈室的濕負(fù)荷（g/h）
—空氣的密度（1.2 kg/m3）
—送風(fēng)的絕對含濕量差（g/kg）
③ 消除（稀釋）室內(nèi)產(chǎn)生粒子的凈化送風(fēng)量計(jì)算：
在一般情況下，由于室內(nèi)產(chǎn)塵量G很難準(zhǔn)確，因此,在工程中都不用上述公式計(jì)算送風(fēng)量。而采用斷面風(fēng)速法（單向流潔凈室）和換氣次數(shù)法（非單向流潔凈室）進(jìn)行凈化送風(fēng)量的計(jì)算。
氣流流型和送風(fēng)量（靜態(tài)）：
注：① 表中換氣次數(shù)適應(yīng)于層高小于4.0m的潔凈室。
② 室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。
2、潔凈室的新風(fēng)量計(jì)算：
潔凈室的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充潔凈室的排風(fēng)量和維持潔凈室正壓的泄漏風(fēng)量，同時還要保證潔凈室內(nèi)工作人員每人每小時不小于40m3的新鮮空氣量的要求。因此：L新=L排+L正≥n·40（m3/h）
式中：L排— 潔凈室總的排風(fēng)量（m3/h）；
L正—維持潔凈室正壓的總泄漏風(fēng)量（m3/h）
n— 潔凈室內(nèi)人數(shù)。
① 潔凈室內(nèi)設(shè)備局部排風(fēng)量計(jì)算
L排= 3600×F×V（m3/h）
式中：F— 排風(fēng)罩的開口面積（m2）
V—開口部的平均風(fēng)速（m/s）
② 潔凈室正壓泄漏風(fēng)量計(jì)算：
正壓泄風(fēng)量可用縫隙法和換氣次數(shù)法進(jìn)行計(jì)算：
縫隙法：
式中：q—單位縫隙長度的漏風(fēng)量可查表（m3/h·m）
l—縫隙長度（m）；—— 漏風(fēng)系數(shù)。
換氣次數(shù)法可查表得到。
圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量表（m3/h·m）
潔凈室的壓差值與房間換氣次數(shù)表（次/時）
四、凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計(jì)算（水力平衡計(jì)算）
凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計(jì)算包括水系統(tǒng)和風(fēng)系統(tǒng)的水力計(jì)算兩大部分。水系統(tǒng)（冷凍水和冷卻水系統(tǒng)）的水力計(jì)算，其目的是為了進(jìn)行水系統(tǒng)的阻力平衡（減少失調(diào)）選擇管徑和水泵；風(fēng)系統(tǒng)（送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、新風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)）的水力計(jì)算主要目的是為了確定風(fēng)管的管徑（尺寸）和選擇風(fēng)機(jī)（送風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)）。
系統(tǒng)的水力計(jì)算其實(shí)就是系統(tǒng)的阻力計(jì)算。
系統(tǒng)的總阻力H總=
（Pa）
式中：— 各管段的磨擦阻力（Pa）。
Z：—各部件的局部阻力（Pa）。
1、磨擦阻力：
（Pa）
式中：— 磨擦阻力系數(shù)。
D— 管道的“直徑”（m）
圓形管道D即是圓的直徑。
矩形管道D為當(dāng)量直徑：
，a和b均為矩形的邊長（m）。
v —流體在管道中的平均流速（m/s）。
— 流體的密度（kg/m3）。
L—管道的長度（m）。
—流體的動壓頭（Pa）。
2、局部阻力：
（Pa）
式中：—空調(diào)凈化系統(tǒng)中配件的局部阻力系數(shù)。
七個典型的空氣處理系統(tǒng)即空氣處理過程的優(yōu)化：
此方案的凈化空調(diào)機(jī)組（空氣處理機(jī)組AHU）集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，全部的凈化空調(diào)送風(fēng)均在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)進(jìn)行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風(fēng)管道將全部的送風(fēng)輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過設(shè)在潔凈室吊頂上的終端高效過濾器或高效過濾器送風(fēng)口過濾后送到潔凈室內(nèi)，來實(shí)現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再接回到空調(diào)機(jī)房的凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合后重復(fù)進(jìn)行凈化和熱、濕處理。
此方案又可分為全新風(fēng)送風(fēng)方案（直流系統(tǒng)）；一次回風(fēng)方案；一、二次回風(fēng)方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風(fēng)型式。
這種送風(fēng)方案是當(dāng)前潔凈室特別是非單向流潔凈室應(yīng)用最廣泛的凈化空調(diào)送風(fēng)方案。這種送風(fēng)方案的系統(tǒng)劃分明確，風(fēng)量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。
但是潔凈度級別較高、送風(fēng)量較大時，存在著空調(diào)機(jī)房占面積大，送、回風(fēng)管體積大占面積和占空間大，送、回風(fēng)管道長，送風(fēng)機(jī)的余壓高，噪音大,風(fēng)量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風(fēng)方案較適用在低級別的非單向流潔凈室的送風(fēng)，對5級以上的單向流潔凈室送風(fēng)就不太經(jīng)濟(jì)合理了。
一、AHU全新風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案（直流系統(tǒng)）
全新風(fēng)凈化空調(diào)送風(fēng)方案是用于特殊的不允許回風(fēng)的潔凈室的送風(fēng)方案中。如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)等級或工藝過程產(chǎn)生有劇毒等有害物不允許回風(fēng)的潔凈送風(fēng)系統(tǒng)中。其原理圖和焓濕圖如下。
二、AHU 一次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
一次回風(fēng)的送風(fēng)方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風(fēng)量大于、等于或近于凈化送風(fēng)量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。此方案的原理圖和焓濕圖如下：
三、MAU+RAU的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。
由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短??；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。
新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機(jī)械露點(diǎn)上，如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。此方案的原理圖和焓濕圖如下：
凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風(fēng)方案。
為了大大地節(jié)省運(yùn)行時的能耗，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量（通常大大地小于潔凈室的凈化送風(fēng)量），由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行必要的凈化和熱濕處理，而將占總送風(fēng)量50~90%的保證潔凈室潔凈度的凈化送風(fēng)量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機(jī)組進(jìn)行凈化和補(bǔ)充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的FFU（風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組）和干盤管來解決潔凈室的潔凈度等級和溫度的微調(diào)節(jié)。
此種凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)相分離的送風(fēng)方案，不僅可節(jié)省運(yùn)行的能耗，而且大大地減少了空調(diào)機(jī)房面積，省掉了龐大的送、回風(fēng)管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風(fēng)方案又可分為：空調(diào)機(jī)組(AHU)加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(FFU)方案,新風(fēng)機(jī)組（MAU）加循環(huán)機(jī)組（RAU）加（FFU）方案；新風(fēng)機(jī)組（MAU）加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）加干冷盤管(DC)方案等三種送風(fēng)方案。
一、空調(diào)機(jī)組AHU(MAU）加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）的凈化空調(diào)送風(fēng)方案：
此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負(fù)荷（潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負(fù)荷及新風(fēng)的熱、濕負(fù)荷）全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的空調(diào)機(jī)組來負(fù)擔(dān)。此時，空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量（其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng)，但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風(fēng)量），它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。
而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）將凈化送風(fēng)量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應(yīng)該注意的是，F(xiàn)FU運(yùn)行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機(jī)組來承擔(dān)。此方案更適合用于在大面績非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
其送風(fēng)原理圖和焓濕圖如下：
二、新風(fēng)機(jī)組（MAU）加循環(huán)機(jī)組（RAU）加風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU）凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。
由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短??；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。
此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個潔凈室的正壓。
新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機(jī)械露點(diǎn)上，如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。
當(dāng)多個潔凈室中有若干個1級、10級、100級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機(jī)組（RAU）的負(fù)擔(dān)和送、回風(fēng)管道的斷面，此時循環(huán)機(jī)組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風(fēng)量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而占90％以上的絕大部分送風(fēng)量有設(shè)在潔凈室吊頂上的FFU來負(fù)擔(dān)，以保證潔凈室的高潔凈度級別。此方案的原理圖和焓濕圖如下：
三、新風(fēng)機(jī)組（MAU）加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案是新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到潔凈室熱濕比線與相對濕度95%線交點(diǎn)以下，新風(fēng)機(jī)組不僅將本身的濕負(fù)荷去掉，而且還負(fù)擔(dān)潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷，新風(fēng)機(jī)組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風(fēng)機(jī)組熱處理不足部分的干冷負(fù)荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上（或夾道內(nèi)）的干表冷器來補(bǔ)充。因干表冷器是設(shè)在FFU循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干表冷所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。
由新風(fēng)機(jī)組處理過的新風(fēng)用管道以最能與FFU循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風(fēng)靜壓箱內(nèi)。
FFU布置在潔凈室的吊頂上，與新風(fēng)混合的循環(huán)風(fēng)經(jīng)FFU被高效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU的規(guī)格以1200mm×600mm和1200mm×1200mm居多，其斷面風(fēng)速應(yīng)為≥0.45m/s，余壓應(yīng)≥120Pa，噪聲應(yīng)≤50dB(A)為好。FFU的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)可調(diào)，高效過濾器應(yīng)可更換。
干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距≥3mm，阻力損失應(yīng)為30~40Pa，循環(huán)風(fēng)通過干盤管的面風(fēng)速<2m/s，最好為1.5m/s。進(jìn)入干盤管冷水的進(jìn)水溫度應(yīng)高于潔凈室露點(diǎn)溫度2℃,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫干盤管，但在起始運(yùn)行時還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應(yīng)有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。
此方案中，潔凈室的相對濕度由新風(fēng)機(jī)組（MAU）來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。
這種MAU加FFU加DC的凈化空調(diào)送風(fēng)方案，目前在我國和外國的微電子（集成電路）工業(yè)、光電子（TFT-LCD、LCD、LED等）工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應(yīng)用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應(yīng)工藝的更新?lián)Q代，又大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點(diǎn)。而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展和進(jìn)步，F(xiàn)FU風(fēng)機(jī)的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風(fēng)方案基本持平，但運(yùn)行費(fèi)卻大大節(jié)省。MAU加FFU加DC方案的原理圖和焓濕圖如下。
